ZEISS Lösungen zur Technischen Sauberkeit

Technische Sauberkeit ist ein Teil des Softwareportfolios ZEN core aus dem Bereich der industriellen Mikroskopie. Um die Partikelklassifizierung zu optimieren, bietet ZEISS ganz neu ZEISS ZEN core Anwendern die Lösung Technical Cleanliness Analysis („TCA“) mit drei vortrainierten und auf Machine Learning basierenden Modulen an. Dieses Modul bietet die Möglichkeit, Partikel auf der Grundlage gemessener Parameter eines analysierten Bildes zu klassifizieren. Die Proben werden anhand von drei vortrainierten maschinellen Lernmodellen analysiert, die zusätzlich von Benutzern und Kunden trainiert werden können. Proben werden über die Grauwertbestimmung analysiert und das vortrainierte Machine Learning Modell zur Objektklassifizierung läuft in den neuen TCA Jobvorlagen im Hintergrund mit, dabei wird parallel die Typklassifizierung überprüft, auf Basis der vorhandenen Partikelmessergebnisse. Diese zusätzliche Prüfung der Typklassifizierung über Machine Learning Algorithmen „betrachtet“ die mit der klassischen Analyse gewonnenen Partikelergebnisse u. a. zur Größe, Form, Intensität und Typklassifizierung und kombiniert die verschiedenen Merkmale zu einer Vielzahl unkorrelierter Entscheidungsbäume. Bewertet werden die Resultate individuell für jeden Entscheidungsbaum anhand der dem Objektklassifizierungsmodell antrainierten Klassifikation. Dies führt im Ergebnis zu einer automatischen Vorhersage des Partikeltyps.

Differenzieren Sie Partikel nach Menge, Größenverteilung und Morphologie und unterscheiden Sie metallisch glänzende von nicht metallisch glänzenden Partikeln und Fasern bis zu 2 μm. Erstellen Sie Sauberkeitsberichte gemäß Industriestandards.

Charakterisieren Sie prozesskritische Partikel und identifizieren Sie kritische Partikel mithilfe der Correlative Automated Particle Analysis (CAPA), die Ihre Daten von Licht- und Elektronenmikroskopen in einem einzigen Workflow kombiniert.

Messen Sie die morphologischen Eigenschaften von Partikeln und verwenden Sie vollautomatische Elementaranalysen, um Partikel nach ihrer chemischen Zusammensetzung zu klassifizieren. ZEISS SmartPI, die Partikelanalyse-Software für Elektronenmikroskope, automatisiert die Detektion, Analyse und Klassifizierung von Partikeln, und Klassifizierung von Partikeln und kombiniert Mikroskopsteuerung, Bildverarbeitung und Elementaranalyse in einer einzigen Anwendung.